发明名称 Layer structure having contact hole for fin-shaped capacitors in DRAMS and method of producing the same
摘要
申请公布号 EP0449000(B1) 申请公布日期 2004.08.18
申请号 EP19910103412 申请日期 1991.03.06
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 EMA, TAJI
分类号 H01L21/033;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/82;H01L21/311 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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