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发明名称
Layer structure having contact hole for fin-shaped capacitors in DRAMS and method of producing the same
摘要
申请公布号
EP0449000(B1)
申请公布日期
2004.08.18
申请号
EP19910103412
申请日期
1991.03.06
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
EMA, TAJI
分类号
H01L21/033;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/82;H01L21/311
主分类号
H01L21/033
代理机构
代理人
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地址
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