掩模蒸镀方法及装置、掩模及其制造方法、显示板制造装置

摘要

本发明提供一种掩模蒸镀方法及装置、掩模及其制造方法、显示板制造装置。本发明的掩模蒸镀方法包括由台架1的静电引力将成为被蒸镀对象的玻璃基板(20)吸引的工序；将被吸引的玻璃基板与蒸镀掩模(2)的位置进行对齐的工序；以及使成为蒸镀对象的电致发光元件的有机化合物蒸发、蒸镀在玻璃基板(20)上的工序。而且，根据情况使蒸镀掩模具有静电吸盘功能，以提高紧密接合性。

主权项

1.一种掩模蒸镀方法，其特征在于：具有由静电引力吸引被蒸镀对象的工序；对所述被吸引的被蒸镀对象与蒸镀用掩模进行位置对齐的工序；及通过使蒸镀对象蒸发，对所述被蒸镀对象进行蒸镀的工序。