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发明名称 DEPOSITION OF COATINGS USING AN ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA JET
摘要
申请公布号 EP1090159(A4) 申请公布日期 2004.08.18
申请号 EP19980953847 申请日期 1998.10.20
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;BABAYAN, STEVE E.;SELWYN, GARY S.;HICKS, ROBERT F. 发明人 BABAYAN, STEVE, E.;SELWYN, GARY, S.;HICKS, ROBERT, F.
分类号 H05H1/24;C23C8/36;C23C16/08;C23C16/12;C23C16/18;C23C16/24;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/30;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/452;C23C16/513;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/30;H05H1/42;(IPC1-7):C23C8/00;C23C16/00 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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