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发明名称 Improvements in or relating to electrodes for LSI
摘要
申请公布号 EP0671768(B1) 申请公布日期 2004.08.18
申请号 EP19950102002 申请日期 1995.02.14
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 NUMATA, KEN;AOKI, KATSUHIRO;FUKUDA,YUKIO;NISHIMURA,AKITOSHI
分类号 H01L21/8246;H01L21/3205;H01L21/822;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
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