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发明名称
Method for forming an integrated barrier/plug for a stacked capacitor
摘要
申请公布号
EP1148537(A3)
申请公布日期
2004.08.18
申请号
EP20010109606
申请日期
2001.04.18
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
LIN, CHENTING;KNORR, ANDREAS;SHEN, HUA;SCHUTZ, ROLAND J.;WONG, KEITH;LIAN, JENNY
分类号
H01L21/02;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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