| 发明名称 | 具有内建电路的光探测器及其生产方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种具有内建电路的光探测器，其包括一半导体基板、一设置在半导体基板上的集成电路，以及一设置在半导体基板上的光电二极管。集成电路包括设置在集成电路的至少一部分上的SiGe层。 | ||
| 申请公布号 | CN1162916C | 申请公布日期 | 2004.08.18 |
| 申请号 | CN01132454.6 | 申请日期 | 2001.09.05 |
| 申请人 | 夏普公司 | 发明人 | 泷本贵博;大久保勇;笠松利光;久保胜;谷善平 |
| 分类号 | H01L27/14;H01L31/10 | 主分类号 | H01L27/14 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒 |
| 主权项 | 1.一种具有内建电路的光探测器，包括：半导体基板；设置在半导体基板上的集成电路；以及设置在半导体基板上的光电二极管，其中，集成电路包括晶体管，该晶体管包括设置在集成电路的至少一部分上的SiGe层；并且其中光电二极管包括设置在半导体基板上的抗反射膜，且抗反射膜包括热氧化硅膜。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||