一种温度不敏感折叠式阵列波导光栅（AWG）

摘要

本发明是一种温度不敏感、低偏振模色散的折叠式阵列波导光栅(AWG)，属于光通信波分复用解复用及固定路由交换领域，对于折叠式阵列波导光栅，主要问题在于中心波长在芯片加工中很难控制，即使采用温度控制，调节范围也很有限，并且成本较高，可靠性也不好。本发明一方面一方面通过设置并调节反射镜，连续地改变相邻波导相位差，继而改变器件的中心波长，中心波长调节好后将反射镜固定，使得反射角度不随温度变化而变化，解决了中心波长的调节的问题；另一方面通过在自由耦合区设置折射率温度补偿波导区或通过波导上包层的折射率温度补偿材料实现折叠式阵列波导光栅无温度敏感性。本发明将极大的降低阵列波导光栅的温度敏感性、偏振模色散以及衍射损耗，大大提高器件的可靠性与成品率，并且中心波长可以在较大范围内跨波段调整，同时本发明将显著减小阵列波导光栅的体积，相应芯片与器件成本将大幅下降。

主权项

1、本发明是一种反射式温度不敏感阵列波导光栅器件，由输入输出波导、自由耦合区、阵列波导、空气楔、反射镜构成，其特征在于：在阵列波导芯片末端有一反射镜，将光栅区各波导的光反射回原来的波导，反射镜与阵列波导间有空气楔，通过调整空气楔对光程差进行补偿，使中心波长正好聚焦于相应输出波导，实现器件中心波长的调整，然后将反射镜固定，当温度变化时，反射角度基本保持不变。