| 发明名称 | 预防晶圆重复沉积的方法 | ||
| 摘要 | 一种预防晶圆重复沉积的方法。本发明会检查两种信号，分别是状态重设信号及卡匣卸载信号。如果在预定时间周期内，在状态重设信号送出之前，不存在卡匣卸载信号，则会使机台停止，以防止卡匣中的晶圆重复沉积。而如果在预定时间周期内，在状态重设信号送出之前，已存在卡匣卸载信号，则会重设机台，而执行沉积的运作。 | ||
| 申请公布号 | CN1521802A | 申请公布日期 | 2004.08.18 |
| 申请号 | CN03102473.4 | 申请日期 | 2003.01.27 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 郑穆远 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1.一种预防晶圆重复沉积的方法，适用于一机台，其特征是，该方法包括下列步骤：侦测及判断是否送出一状态重设信号；在一预定时间周期内，判断在该状态重设信号送出之前，是否存在一卡匣卸载信号；以及当该卡匣卸载信号不存在时，则使该机台停止运作。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区力行路16号 | ||