研磨设备和研磨方法

摘要

本发明涉及一种用于研磨具有预加工表面的工件的研磨设备，所述设备包括：研磨膜，所述研磨膜包括具有带磨粒的表面的薄衬底；设置在研磨膜后表面侧处的底板；底板驱动单元，所述底板驱动单元用于朝向工件驱动底板以便于将研磨膜的有磨粒的表面压向工件的预加工表面；转动驱动单元，所述转动驱动单元用于以可转动的方式驱动工件；检测单元，所述检测单元用于沿转动方向检测转动工件的位置；以及控制单元，所述控制单元用于控制底板驱动单元的挤压力，以便于在加工过程中沿转动方向根据工件的位置驱动底板。

主权项

1.一种研磨具有预加工表面的工件的研磨设备，所述设备包括：研磨膜，所述研磨膜包括具有带磨粒的表面的薄衬底；设置在研磨膜后表面侧处的底板；底板驱动单元，所述底板驱动单元朝向工件驱动底板以便于将研磨膜的有磨粒的表面压在工件的预加工表面上；转动驱动单元，所述转动驱动单元以可转动的方式驱动工件；检测单元，所述检测单元沿转动方向检测转动的工件的位置；以及控制单元，所述控制单元控制底板驱动单元的挤压力，以便于在加工过程中沿转动方向根据工件的位置而驱动底板。