化学增幅正型感光性树脂组成物

摘要

一种对应于厚膜和超厚膜的化学增幅正型感光性树脂组成物，其适用于形成厚膜光阻图案，如磁头之磁极或凸块的形成等。本发明之正型感光性树脂组成物，包含(A)硷可溶性酚醛清漆树脂、(B)硷可溶性丙烯酸系树脂、(C)缩醛化合物、及(D)酸发生剂。该缩醛化合物具有以下述通式(I)所示构成单位(其中，R表示碳数1～20之饱和烷基，n表示1～10之整数)作为重复单位之聚缩合物较佳。092129081p01.bmp