摘要 |
本发明系有关一种藉由使一光固化型树脂组成物于一撑体膜上形成1至50μm之厚度及选择性使一保护膜层合至此光固型组成物层上以获得一乾膜光阻之制造乾膜光阻之方法,藉此,此光固化型树脂系自一种包含下述之均质混合物形成(a)20–90重量%之硷可溶之黏着剂寡聚物或聚合物;(b)5至6O重量%之一或更多之可与组份(a)之寡聚物及聚合物相容之光聚合型单体;(c)0.01至20重量%之一或更多之光起始剂;(d)0至20重量%之添加剂及/或辅助剂;及(e)0.1至10重量%之化学式I之隐色三苯基甲烷092118721p01.bmp其中,R^1系选自下述之残质092118721p02.bmp R^2系C1–C12烷基或苯基,其可以C1–C6烷基、三氟甲基、C1–6烷氧基、C1–6烷基硫基、卤素及硝基作单–、二–或三–取代;R^3系氢或C1–C12烷基;R4至R9彼此个别系氢或C1–C12烷基;X系O、S、NH或N–C1–C12烷基;(a)至(e)系100重量%。上述组成物系用以避免热层合期间之不利颜色产生。 |