显示装置、其制造方法及制造装置

摘要

本发明于绝缘基板上所形成之显示区域之外侧，形成使显示区域驱动用之驱动电路之区域之非晶质半导体膜(非晶矽膜)上，开启／关闭聚光成线状或矩形状(带状)之连续振荡雷射光来进行扫描。藉此，形成驱动电路之区域之非晶质半导体膜藉由聚光之连续振荡雷射光退火，可改质成含结晶之带状多晶矽膜，该结晶不具横过于该区域形成主动元件时流入主动元件主动层之电流方向之结晶粒场。因而可实现于显示区域外之绝缘基板上具有稳定且高品质之主动元件之显示装置。