供装置处理系统用之高温及高强度之可染色材料

摘要

本发明揭示用于处理电子组件之静电放电防护装置，例如，矩阵盘(matrixtrays)、晶片盘、及晶圆载具，其系由高温、高强度聚合物及至少一金属氧化物，及视需要与至少一颜料之混合物所制成。使用金属氧化物作为导电性材料有利于制造浅色静电放电防护材料。此种材料可利用颜料染色，而不会使材料性能规格受损。