螺旋耦合的远端电浆源

摘要

远端电浆源采用螺旋线圈的慢波结构，以耦合微波能量至流动的气体，而产生下游之基板处理(例如光阻剥除、灰化或蚀刻)所要用的电浆。系统也包括冷却结构，以从电浆源元件移除多余的热。