ARRAY AND METHOD FOR THE SPECTRALLY RESOLVING DETECTION OF A SAMPLE

摘要

Anordnung und Verfahren zur spektral auflösenden Erfassung einer mit einer Beleuchtungsstrahlung (12) beleuchteten Probe (22) durch Detektion einer von der Probe (22) ausgehenden Probenstrahlung (24), mit einem Beleuchtungsstrahlengang, über den Beleuchtungsstrahlung (12) der Probe (22) von einer Beleuchtungsquelle (10, 10') her zuführbar ist, und mit einem Beobachtungsstrahlengang, über den Probenstrahlung (24) einem Detektor (40) als Beobachtungsstrahlung zuführbar ist wobei in einem die Probe (22) nicht umfassenden Teil des Beobachtungsstrahlengangs ein Interferometer (30) angeordnet ist, welches einfallende Interferometer-Eingangsstrahlung mittels eines Interferometer-Strahlteilers (32) in zwei Strahlungsanteile aufspaltet, diese über zwei Wege, die Strahlungsleitmittel (34, 36) aufweisen und deren effektive Weglängendifferenz änderbar ist, leitet und sie miteinander interferierend zu einer Interferometer-Ausgangsstrahlung überlagert, sodass die Spektralverteilung der in einem Punkt des Detektors (40) auftreffenden Beobachtungsstrahlung (24) durch Änderung der effektiven Weglängendifferenz änderbar ist, wobei dass das Interferometer (30) in einem dem Beleuchtungsstrahlengang und dem Beobachtungsstrahlengang gemeinsamen Strahlengangbereich angeordnet ist, sodass sich durch die Änderung der effektiven Weglängendifferenz im Beobachtungsstrahlengang auch die effektive Weglängendifferenz im Beleuchtungsstrahlengang ändert.