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发明名称
Elektroplattierungschemie zum Füllen von Submikro-Merkmalen von VLSI/ULSI Verbindungen mit Kupfer
摘要
申请公布号
DE10196930(T5)
申请公布日期
2004.08.12
申请号
DE20011096930T
申请日期
2001.11.20
申请人
ENTHONE INC., WEST HAVEN
发明人
TOO, ELENA H.;GERST, PAUL R.;PANECCASIO JUN., VINCENT;HURTUBISE, RICHARD W.
分类号
C25D3/38;H01L21/288;H05K3/42;(IPC1-7):C25D3/38;C25D7/12
主分类号
C25D3/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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