发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterstruktur mit einem oder mehreren Vorsprüngen
摘要
申请公布号 DE19827686(B4) 申请公布日期 2004.08.12
申请号 DE19981027686 申请日期 1998.06.22
申请人 MOSEL VITELIC INC., HSINCHU;PROMOS TECHNOLOGIES, INC.;SIEMENS AG 发明人 YEN, WEN-PING;KU, CHIA-LIN;LEE, CHENG-CHE
分类号 H01L21/316;H01L21/334;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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