| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Grabens mit vergrabener Platte |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19939589(B4) |
申请公布日期 |
2004.08.12 |
| 申请号 |
DE19991039589 |
申请日期 |
1999.08.20 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
HENNECKE, SABINE;SCHREMS, MARTIN |
| 分类号 |
H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8242 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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