| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Strukturen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19610782(B4) |
申请公布日期 |
2004.08.12 |
| 申请号 |
DE19961010782 |
申请日期 |
1996.03.19 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
LAERMER, FRANZ;SCHILP, ANDREA |
| 分类号 |
B81B3/00;(IPC1-7):B81C1/00;H01L21/308;B81B1/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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