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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR STEUERUNG EINES SYSTEMS MIT HIERARCHISCHEN ZUSTANDSAUTOMATEN
摘要
申请公布号 DE69913201(T2) 申请公布日期 2004.08.12
申请号 DE19996013201T 申请日期 1999.12.10
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC., GLOUCESTER 发明人 VIVIANI, L.;PARISI, A.;CALLAHAN, G.
分类号 H01L21/265;G05B11/01;G05B15/02;G05B19/045;G06F19/00;(IPC1-7):G05B19/045 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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