片状透明体缺陷的检查方法与装置

摘要

提供检查输送中的片状透明体存在的伴生有光学畸变缺陷的缺陷检查方法。根据此缺陷检查方法在上述片状透明体的一侧设有照明装置；于此片状透明体的另一侧设有1维摄像装置。此述照明装置具有明部与暗部，将此明部与暗部的边界设定为实质上与1维摄像装置中平行的直线状，而以此摄像装置的视场作为上述边界部。将此摄像装置的1维输出构成2维图像数据，将此图像数据变换为3值化处理的图像数据，在基于此3值化图像数据的显示图像中，通过沿上述片状透明体输送方向顺次出现的明部与暗部组成的缺陷图案，检查缺陷并识别缺陷的种类。

主权项

1.一种缺陷检查方法，用于检查输送中的片状透明体上存在的伴生有光学畸变的缺陷，其中在上述片状透明体的一侧设有照明装置；于此片状透明体的另一侧设有1维摄像装置；上述照明装置具有明部与暗部，将此明部与暗部的边界设定为实质上与1维摄像装置中平行的直线状，而以此摄像装置的视场作为上述边界部；将此摄像装置的1维输出构成2维图像数据，将此图像数据变换为3值化处理的图像数据，在基于此3值化图像数据的显示图像中，通过沿上述片状透明体输送方向顺次出现的明部与暗部组成的缺陷图案，检查缺陷并识别缺陷的种类。