一种连续SiC纤维增强Ti合金基复合材料先驱丝的制备方法

摘要

本发明公开一种连续SiC纤维增强Ti合金基复合材料先驱丝的制备方法。它以连续SiC纤维为基体，先对基体表面进行清洁处理，然后将基体缠绕在以Ti合金为靶材的样品架上；放入真空室，先预抽真空，再通入氩气；旋转基体，对基体进行预热；对所述预热后基体进行磁控溅射；其工艺参数为：预抽真空使真空度至3.0×10^－4Pa～3.0×10^－5Pa；通入氩气，使真空度达到10^－2Pa～10Pa之间；基体运动速度为5转/分钟～30转/分钟；基体温度控制在25℃～500℃之间；磁控溅射功率为2000W～4000W；靶－基距为30mm～70mm。采用本发明镀层厚度均匀，镀层与基体的结合力强，性能高。

主权项

1.一种连续SiC纤维增强Ti合金基复合材料先驱丝的制备方法，其特征在于可按如下步骤操作：1)以连续SiC纤维为基体，先对基体表面进行清洁处理，然后将基体缠绕在以Ti合金为靶材的样品架上；2)放入真空室，先预抽真空，再通入氩气；旋转基体，对基体进行预热；对所述预热后基体进行磁控溅射；磁控溅射结束时，降温后取出样品；所述磁控溅射工艺参数为：预抽真空使真空度至3.0×10-4Pa～3.0×10-5Pa；通入氩气，使真空度达到10-2Pa～10Pa之间；基体运动速度为5转/分钟～30转/分钟；基体温度控制在25℃～500℃之间；磁控溅射功率为2000W～4000W；靶-基距为30mm～70mm。