| 发明名称 |
Semiconductor device manufacturing method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1341218(A3) |
申请公布日期 |
2004.08.11 |
| 申请号 |
EP20020257693 |
申请日期 |
2002.11.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
KIKUCHI, HIDEAKI;KOMURO, GENICHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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