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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR CALIBRATING AN INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 EP1444480(A1) 申请公布日期 2004.08.11
申请号 EP20020770648 申请日期 2002.10.22
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 EVANS, CHRISTOPHER, JAMES;KUECHEL, MICHAEL;ZANONI, CARL, A.
分类号 G01B21/04;G01B9/02;G01M11/00;(IPC1-7):G01B9/02;G01J9/02;G01B11/24 主分类号 G01B21/04
代理机构 代理人
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