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发明名称 AIR MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD FOR CHEMICAL CONTAINMENT AND CONTAMINATION REDUCTION IN A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY
摘要
申请公布号 EP1301262(A4) 申请公布日期 2004.08.11
申请号 EP20010916239 申请日期 2001.02.27
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 OLANDER, W. KARL;WALKER, BRUCE
分类号 F24F7/06;B01D53/74;F24F3/16;F24F7/00;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00;B01D46/00 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
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