发明名称 Container for transporting precision substrates
摘要
申请公布号 EP0951050(A3) 申请公布日期 2004.08.11
申请号 EP19990107027 申请日期 1999.04.09
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED;SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 发明人 HIROHATA, TATSUAKI;BETSUYAKU, TAKASHI
分类号 B65D85/00;B65D85/86;H01L21/304;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
主权项
地址