精密气压缸配重装置及其控制方法

摘要

本发明为一种精密气压缸配重装置及其控制方法，其藉由一自动化调整气压的调压回路及控制流程，可以节省伺服轴的输出推力、加工机的开机时间及更换负载的调整时间，并提升加工精度；其藉由内建的煞车制动器及煞车伺服阀可在误动作、低气压或低电源时有效的保护机台与工件，提高安全性；另藉由闭锁伺服阀可以在超精密行程动作时提供机台额外的动态刚性。

主权项

1、一种精密气压缸配重装置，其包括：一气压机构，包括一气压缸及一连动于该气压缸的伺服轴；一处理器，内建有配重控制软件及数据资料库；一压力感知器，以感知流经的气压并转换成对应的电压大小并传至处理器中；一精密调压阀，以接受该处理器的控制指令以控制流经气体的气压流量；及一位置反馈装置，以接收气压缸的位移讯息以调整精密调压阀的输出压力。