气相沉积镀膜与真空热处理在线结合的复合镀膜设备

摘要

本发明涉及镀膜技术，具体地说是气相沉积镀膜与真空热处理在线结合的复合镀膜设备。包括镀膜室、热处理室以及手套箱、中转室，中转室为不锈钢圆柱型结构，设置在镀膜室、热处理室以及手套箱之间，与镀膜室、热处理室以及手套箱通过不锈钢管道连接，在不锈钢管道上设有不锈钢高真空插板阀；其中：中转室具有上盖，其上设观察窗；中转室侧壁安装一传递杆，方向对准镀膜室；侧壁还安装一机械手；热处理室上安装一观察窗，其侧壁分别安装一机械手及一方向对准中转室的传递杆；手套箱内侧、靠中转室接口处设置压板舱门，通过不锈钢管道与中转室相通；镀膜室侧壁安装一机械手。它能解决中间传递环节污染问题。

主权项

1.一种气相沉积镀膜与真空热处理在线结合的复合镀膜设备，包括镀膜室(1)、热处理室(2)以及手套箱(3)，其特征在于：还包括中转室(4)，所述中转室(4)为不锈钢圆柱型结构，设置在所述镀膜室(1)、热处理室(2)以及手套箱(3)之间，与镀膜室(1)、热处理室(2)以及手套箱(3)通过不锈钢管道连接，在不锈钢管道上设有不锈钢高真空插板阀(6)；其中：所述中转室(4)具有上盖，其上设观察窗(5)；中转室(4)侧壁安装一传递杆(7)，方向对准镀膜室(1)；侧壁还安装一机械手(8)；所述热处理室(2)上安装一观察窗(5)，其侧壁分别安装一机械手(8)，及一方向对准中转室(4)的传递杆(7)；所述手套箱(3)内侧、靠中转室(4)接口处设置压板舱门(10)，通过不锈钢管道与中转室(4)相通；所述镀膜室(1)侧壁安装一机械手(8)。