发明名称 光器件的制造方法
摘要 提供高品质光器件的制造方法。根据本发明的光器件的制造方法包含(a)在透光性的第一基板(10)和形成具有第一光学部分(22)的第一光元件(100)、具有第二光学部分的(22)的第二光元件(100)的第二基板(20)中的至少一方上形成包围第一光学部分(22)的形状的第一隔板(18),形成第一隔板(18)后,在第一和第二基板(10),(20)至少一方上形成包围第二光学部分(22)的形状的第二隔板(18),(b)通过经第一和第二隔板(18)连接第一和第二基板(10),(20),由第一基板(10)和隔板(18)密封各个光学部分(22),(c)将第二基板(20)切断为包含1个密封的光学部分(22)的各个光元件(100)。
申请公布号 CN1519947A 申请公布日期 2004.08.11
申请号 CN200410004854.3 申请日期 2004.02.06
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 大森治
分类号 H01L27/14;H01L31/08;H01L31/18;H01L21/00 主分类号 H01L27/14
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李香兰
主权项 1.一种光器件的制造方法,其中包含:(a)在透光性的第一基板和形成具有第一光学部分的第一光元件、具有第二光学部分的第二光元件的第二基板中的至少任一方上形成包围上述第一光学部分的形状的第一隔板,形成上述第一隔板后,在上述第一基板和上述第二基板的至少任一方上形成包围上述第二光学部分的形状的第二隔板,(b)通过经上述第一和第二隔板连接上述第一基板和上述第二基板,由上述第一基板和上述第一和第二隔板密封各个上述第一和第二光学部分,(c)将上述第二基板切断为包含上述第一光学部分的上述第一光元件和包含上述第二光学部分的上述第二光元件。
地址 日本东京