释放的声学探测及其装置

摘要

在真空处理室中，提供用于监测何时足以由静电夹盘释放衬底以便允许通过传送机构诸如销提升器安全移动的监测设备。该监测设备包括以衬底的谐振频率输出声波的声学发生器，并且当由衬底吸收声波时检测释放状态。在晶片的处理诸如等离子体蚀刻或化学气相淀积期间使用该设备。

主权项

1、一种用于检测静电夹盘的释放的装置，包括：衬底支架，包括静电夹盘，其适用于将半导体衬底静电地夹在其支架表面上；声学信号发生器，用于将声学信号传送给所述半导体衬底；检测装置，适用于检测所述半导体衬底的第一和第二状态，当静电地夹紧所述半导体衬底时检测所述第一状态，以及当未静电地夹紧该半导体衬底的全部时，由所述检测装置检测所述第二状态。