TDI检测装置、馈通装置、应用这些装置的电子束设备以及应用以电子束设备的半导体器件制造方法

摘要

包括TDI传感器(64)与馈通装置(50)的电子束设备。馈通装置有插座接触件(54)，将连接到分出不同环境的凸缘(51)上的插针(52)和与之组成对的另一插针(53)互连，此插针(52)、另一插针(53)与插座接触件(54)共组成连接单元且此接触件(54)有弹性件(61)。因而即会设置多个连接单元，也能将连接力保持到可防止传感器破损的水平。插针(53)与其中象素阵列已根据图象投影光学系统的光学特性取自适应组合的TDI传感器(64)连接。此传感器有多个积分级，能将图象投影光学系统视场减至尽可能地小，以可于此视场中将最大可接收畸变设定得较大。此外可将积分级个数确定成使TDI传感器的数据传输率可不减少但不会尽可能地增多插针数。最好可使行的计数数大致等于积分级个数。

主权项

1.TDI检测装置，它具有用以检测通过图象投影光学系统投影形成的电子图象的TDI传感器，此装置的特征在于：上述TDI传感器中的象素阵列是依据所述图象投影光学系统的光学特性作自适应组合。