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发明名称 SCALAR TYPE ROBOT FOR CARRYING FLAT PLATE-LIKE OBJECT, AND FLAT PLATE- LIKE OBJECT PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20040071165(A) 申请公布日期 2004.08.11
申请号 KR20047008526 申请日期 2002.12.02
申请人 发明人
分类号 B25J9/06;B25J19/00;B25J9/04;B25J9/10;B25J18/04;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
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