| 发明名称 | 热氧化匀流隔热散热装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种热氧化匀流隔热散热装置，包括分流反射面，匀流增压板，分流反射面和匀流增压板分别连接于连接架两端，分流反射面为半球面结构；匀流增压板上开有通气孔；分流反射面和匀流增压板之间的连接架上开有片槽，放置硅片。本装置结构简单、使用方便，不需要对氧化炉进行任何改造。使用匀流隔热散热装置后氧化均匀度从大于±15％提高到小于±2.5％。解决了内燃结构用于大管径氧化炉进行氢氧合成氧化，造成氧化层厚度不均匀的问题，为提高氢氧合成氧化工艺的质量提供了一种简便、有效、低成本的解决方案。可广泛应用于现代大规模集成电路工艺中。 | ||
| 申请公布号 | CN2632847Y | 申请公布日期 | 2004.08.11 |
| 申请号 | CN03266411.7 | 申请日期 | 2003.06.30 |
| 申请人 | 北京广播学院 | 发明人 | 张霞 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人 | 余长江 |
| 主权项 | 1、一种热氧化匀流隔热散热装置，包括分流反射面，匀流增压板，分流反射面和匀流增压板分别连接于连接架两端，其特征在于：所述分流反射面为半球面结构；所述分流增压板上开有通气孔；所述分流反射面和匀流增压板之间的连接架上开有片槽，放置硅片。 | ||
| 地址 | 100024北京市朝阳区定福庄东街1号 | ||