| 发明名称 |
METHOD OF USING A SOFT SUBPAD FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003290921(A1) |
申请公布日期 |
2004.08.10 |
| 申请号 |
AU20030290921 |
申请日期 |
2003.11.17 |
| 申请人 |
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY |
发明人 |
JOHN, J., GAGLIARDI |
| 分类号 |
B24B37/04;B24D13/12;B24D13/14;(IPC1-7):B24D13/14 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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