发明名称 MASS FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 AU2003212680(A1) 申请公布日期 2004.08.10
申请号 AU20030212680 申请日期 2003.03.05
申请人 KIM, WOOK-HYUN 发明人 WOOK-HYUN KIM
分类号 G01F1/684;G01F1/692;G01F1/698;G01F1/699;G01F5/00;G01F15/00;G05D7/06;(IPC1-7):G01F23/18 主分类号 G01F1/684
代理机构 代理人
主权项
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