| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING AN UNUSED STATE IN A SEMICONDUCTOR CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003300082(A1) |
申请公布日期 |
2004.08.10 |
| 申请号 |
AU20030300082 |
申请日期 |
2003.12.29 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
SHANE, C. HOLLMER |
| 分类号 |
G01N37/00;G01R31/317;G06F11/22;G06F19/00;G11C7/20;G11C29/00;G11C29/12;H01L21/66;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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