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发明名称 High-speed diamond growth using a microwave plasma in pulsed mode
摘要
申请公布号 AU2003246370(A8) 申请公布日期 2004.08.10
申请号 AU20030246370 申请日期 2003.06.18
申请人 UNIVERSITE PARIS NORD (PARIS XIII) INSTITUT GALILEE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE-CNRS- 发明人 FRANCOIS SILVA;XAVIER DUTEN;KHALED HASSOUNI;GUILLAUME VINCENT LOMBARDI;ANTOINE ROUSSEAU;ALIX HELENE GICQUEL
分类号 C23C16/27;C30B25/10;(IPC1-7):C30B25/10;C23C16/511;C30B25/02;C30B29/04 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
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