发明名称 Lecksuchgerät mit einem Einlass
摘要 Die Erfindung betrifft ein Lecksuchgerät (1) mit einem Einlass (2), mit einer Hochvakuumpumpe (3), mit einem am Eintritt der Hochvakuumpumpe (3) angeschlossenen Testgasdetektor (6), mit einer an den Austrittsbereich (21) der Hochvakuumpumpe (3) angeschlossenen Vorvakuumpumpe (43) sowie mit einer Testgasleitung (47, 55) zwischen dem Einlass (2) des Lecksuchgerätes (1) und der Vorvakuumpumpe (43), welche über einen Leitungsabschnitt (51) mit dem Austrittsbereich (21) der Hochvakuumpumpe (3) sowie über eine weitere Verbindungsleitung (48, 49) mit einer Druckstufe der Hochvakuumpumpe (3) in Verbindung steht; um die Ansprechzeit zu verkürzen, wird vorgeschlagen, dass die Leitung (51) und die Vorvakuumpumpe (43) über separate Anschlüsse (46, 22) mit dem Austrittsbereich (21) der Hochvakuumpumpe (3) verbunden sind.
申请公布号 DE10302987(A1) 申请公布日期 2004.08.05
申请号 DE20031002987 申请日期 2003.01.25
申请人 INFICON GMBH 发明人 BOEHM, THOMAS
分类号 F04D19/04;F04D25/16;G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/20 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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