发明名称 Verfahren zur Messung einer charakteristischen Abmessung wenigstens einer Struktur auf Halbleiterwafern
摘要
申请公布号 DE10134755(B4) 申请公布日期 2004.08.05
申请号 DE20011034755 申请日期 2001.07.17
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BROERMANN, OLIVER
分类号 G03F7/20;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/66;G12B21/06;G01N21/47;G01N21/55;G01B11/24 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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