发明名称
摘要
申请公布号 JP2004523878(A) 申请公布日期 2004.08.05
申请号 JP20020524172 申请日期 2001.08.27
申请人 发明人
分类号 C03B25/02;C03C17/22;C03C17/245;C03C17/34;C23C16/24;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C03B25/02
代理机构 代理人
主权项
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