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发明名称
Verfahren zur Verringerung der Partikelabgabe und Partikelaufnahme einer Waferauflage
摘要
申请公布号
DE19833718(B4)
申请公布日期
2004.08.05
申请号
DE19981033718
申请日期
1998.07.27
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
BIRNBAUM, ERWIN;KLUGE, ANDREAS;RYSSEL, HEINER;RYZLEWICZ, CHRISTOPH
分类号
C23C14/00;C23C14/02;C23C16/44;(IPC1-7):H01L21/68;C23C14/24;H01J37/20
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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