发明名称 |
Grabenstruktur für Halbleiterbauelemente |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10297021(T5) |
申请公布日期 |
2004.08.05 |
申请号 |
DE2002197021T |
申请日期 |
2002.07.03 |
申请人 |
FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP., SOUTH PORTLAND |
发明人 |
CHALLA, ASHOK |
分类号 |
H01L29/872;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/763;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/47;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/761 |
主分类号 |
H01L29/872 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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