发明名称 Grabenstruktur für Halbleiterbauelemente
摘要
申请公布号 DE10297021(T5) 申请公布日期 2004.08.05
申请号 DE2002197021T 申请日期 2002.07.03
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP., SOUTH PORTLAND 发明人 CHALLA, ASHOK
分类号 H01L29/872;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/763;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/47;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/761 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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