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发明名称 WATER SOLUBLE NEGATIVE-WORKING PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP1084165(B1) 申请公布日期 2004.08.04
申请号 EP19990926324 申请日期 1999.05.18
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 MCCULLOCH, IAIN;EAST, ANTHONY, J.;KANG, MING;KEOSIAN, RICHARD;YOON, HYUN-NAM
分类号 C08F12/22;C08F16/12;C08F16/36;C08F18/14;C08F20/58;C08F246/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F246/00 主分类号 C08F12/22
代理机构 代理人
主权项
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