外观检测装置以及外观检测方法

摘要

本发明目的在于提供一种外观检测装置以及外观检测方法。远心透镜(32A)、(32B)和一维传感器(34A)、(34B)组成的两组远心光学系统设置成沿着基板(1)的摄象方向(74)排列。一维传感器(34A)读取的直线(70A)与一维传感器(34B)读取的直线(70B)部分重复。如果在该状态下获得一条直线的图象数据，将包括两组远心光学系统的扫描头在驱动方向(76)上送出一条直线。然后反复进行同样的处理，获得跨越基板(1)的所有直线的部分重叠的两组图象数据。在修正两个图象重叠部分的位置偏差和颜色偏差基础上合成，通过合成图象检测基板(1)。

主权项

1、一种外观检测装置，其特征在于，具有：扫描头，扫描被检测体的基板面而读取图象；主单元，以所述图象为基础进行规定的检测；所述扫描头，构成为沿着将所述基板的反射光成像的远心透镜与将其反射光设想的一维传感器组的摄象直线设置多个，各个一维传感器摄取的所述被检测体的图象部分重叠；所述主单元，包括图象处理部，将从所述一维传感器各个获得的多个图象的包含在重叠部分中的图象数据进行修正、贴合；和将贴合后的结果形成的一幅图象参照规定的合格与否判断标准，判断检测项目是否合格的解析部。