双烧结扩散器

摘要

一种供用于化学汽相淀积系统的固态有机金属源材料使用的双室扩散器以及一种将源材料的饱和载气输送到这种系统中的方法。所述扩散器的容器结构应使载气通过其顶部的进料口进入到一个进料室，且之后使有机金属蒸汽的饱和载气经位于进料室底板的第一多孔烧结件排入到一个出料室，并在通过位于扩散器出口的一个第二多孔烧结件之后从扩散器排出。

主权项

1.一种用于将有机金属化合物材料的饱和流体流送至一个化学汽相淀积系统的装置，其包括：一个容器，其包括一个细长圆柱形部分、一个顶部封闭部分及一个底部封闭部分，所述圆柱形部分具有一个在所述圆柱部分的整个长度上限定一个恒定横截面的内表面，所述顶部封闭部分具有一个用于引入载气的进料口和一个出料口，所述细长的圆柱形部分具有流体连通的进料室和出料室，其中，所述进料室的底板与所述底部封闭部分隔开间距，所述进料室的底板包括一个第一多孔件，该多孔件允许在所述进料室中产生的蒸汽进入所述出料室，其中，所述进料口与所述进料室流体连通，所述出料口与所述出料室流体连通，一个容纳在所述容器的所述进料室内的固态有机金属母体化合物源，所述装置还包括一个位于所述出料口的第二多孔件，从而所述流体流经过所述多孔件排出所述容器。