发明名称 |
大规模光电集成RCE探测器面阵器件 |
摘要 |
大规模光电集成RCE探测器面阵器件,该面阵器件的每个器件的机构都是相同的,该面阵器件都是由两部分构成,即砷化镓基光探测器和硅基后处理电路,包括:一衬底;一布拉格反射镜,该布拉格透射镜制作在衬底上;一多量子阱光吸收区,该多量子阱光吸收区制作在布拉格反射镜上;一高反布拉格反射镜,该高反布拉格反射镜制作在多量子阱光吸收区上;正电极制作在布拉格透射镜上,该正电极是在多量子阱光吸收区的一侧;负电极制作在高反布拉格反射镜上;在正电极上制作有一铟柱,在铟柱上制作一正电极;在负电极上制作有一铟柱,在铟柱上制作一负电极;一硅基后处理电路芯片焊接在正电极和负电极上。 |
申请公布号 |
CN1518116A |
申请公布日期 |
2004.08.04 |
申请号 |
CN03101530.1 |
申请日期 |
2003.01.16 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
陈弘达;裴为华;毛陆虹;吴荣汉;杜云;唐君;邓晖;梁琨 |
分类号 |
H01L27/14 |
主分类号 |
H01L27/14 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种大规模光电集成RCE探测器面阵器件,该面阵器件的每个器件的机构都是相同的,该面阵器件都是由两部分构成,即砷化镓基光探测器和硅基后处理电路,其特征在于,其中包括:一衬底;一布拉格反射镜,该布拉格透射镜制作在衬底上;一多量子阱光吸收区,该多量子阱光吸收区制作在布拉格反射镜上,该多量子阱光吸收区的面积小于布拉格反射镜的面积;一高反布拉格反射镜,该高反布拉格反射镜制作在多量子阱光吸收区上,该高反布拉格反射镜的面积与多量子阱光吸收区的面积相同;正电极制作在布拉格透射镜上,该正电极是在多量子阱光吸收区的一侧;负电极制作在高反布拉格反射镜上;在正电极上制作有一铟柱,在铟柱上制作一正电极;在负电极上制作有一铟柱,在铟柱上制作一负电极;一硅基后处理电路芯片焊接在正电极和负电极上。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |