| 发明名称 | 霍尔型离子辅助蒸发源 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种霍尔型离子辅助蒸发源，由阴极灯丝(31)、阳极(32)、供气系统、磁路等部件组成，其特征在于：蒸发源通过法兰背板(36)安装在未详细说明的真空室壁上。在蒸发源的上部安装有可发射热电子的阴极灯丝(31)，灯丝通过陶瓷绝缘垫(37)与离子源其他部件绝缘；在放电室(38)下部安装了阳极(32)，在阳极上构造出装载膜料的坩埚(39)，坩埚底部有水冷室(40)，阳极通过螺栓(41)与下部的布气板(42)连接；在布气板上构造出环型布气槽(43)。本发明的优点在于：可以用来镀前清洗，在用金属膜料镀制非金属膜时，可以将反应气体直接馈入蒸发源内并使其离化，从而进行反应镀膜，增加反应程度。 | ||
| 申请公布号 | CN1160477C | 申请公布日期 | 2004.08.04 |
| 申请号 | CN02116688.9 | 申请日期 | 2002.04.16 |
| 申请人 | 北京科技大学 | 发明人 | 杨会生;王燕斌;熊小涛 |
| 分类号 | C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/24 |
| 代理机构 | 北京科大华谊专利代理事务所 | 代理人 | 刘月娥 |
| 主权项 | 1、一种霍尔型离子辅助蒸发源，由阴极灯丝(31)、阳极(32)、供气系统、磁路部件组成，其特征在于：蒸发源通过法兰背板(36)安装在真空室壁上；在蒸发源的上部安装阴极灯丝(31)，灯丝用钨、钽材料制造，灯丝通过陶瓷绝缘垫(37)与离子源绝缘；在放电室(38)下部安装了阳极(32)，在阳极上构造出装载膜料的坩埚(39)，坩埚底部有水冷室(40)，阳极通过螺栓(41)与下部的布气板(42)连接；在布气板上构造出环型布气槽(43)，在布气槽顶部有沿圆周均匀分布的供气孔(44)；工作气体和反应气体由供气管(33)进入环型槽内；在布气板上构造出冷却水的进水口(34)和出水口(35)；顶部磁极上部构造出了水冷槽(51)。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区学院路30号 | ||