用于CVD的平滑多部分衬底支撑部件

摘要

本发明提供一种用于支撑玻璃衬底的设备。在一个实施例中，提供基片支撑部件(50)，它具有基底结构部件(52)和上顶部(54)，上顶部(54)上具有表面，该表面适于使衬底支架和在其上支撑的玻璃衬底之间的摩擦和/或化学反应最小。衬底支架可用于各种处理腔室中，如负载锁定腔室和具有热处理的腔室。

主权项

1、一种衬底支撑部件，包括：具有基部和上部的主体；和适于接触和支撑其上衬底的上部的表面，其中该表面适于使摩擦最小和减少与支撑在其上的衬底的化学反应。