外观检测装置以及图象获得方法

摘要

本发明提供一种外观检测装置以及图象获得方法。照明单元(30)对于基板(1)每一条直线交替用侧方照明源产生的侧方光和狭缝照明源产生的狭缝光照射。补正值存储部(49)中保存分别对应于侧方照明源和狭缝照明源设定的阴影补正用的数字补正值。解析单元(46)利用所述数字补正值对图象数据进行阴影补正，能够获得高精度图像。

主权项

1.一种外观检测装置，是检测被检测体外观的装置，具有：扫描所述被检测体的扫描头；和统括地控制包含所述扫描头的整个装置整体的主单元；所述扫描头具有：照射所述被检测体的检测面的多个照明源；和一维传感器，利用分别设置多个摄像元件的多个元件列来检测从所述被检测面向垂直上方反射的光，生成图象数据；其特征在于：所述主单元具有：头控制单元，控制所述扫描头中的所述多个照明源交替发光，并控制所述扫描头和所述被检测体相对运动；存储器控制单元，将所述一维传感器产生的图像数据存入存储器；解析单元，对应所述头控制单元控制的交替发光对所述图像数据进行阴影补正，获得外观检测用图像对所述被检测体进行外观检测。