柔性微机电系统换能器及其制造方法和无线扩音器

摘要

本发明公开柔性MEMS换能器及其制造方法、以及柔性MEMS无线扩音器。一种柔性无线MEMS扩音器，包括：柔性聚合物材料的衬底，在衬底上通过PECVD形成的柔性MEMS换能器结构，在衬底上印制的天线、用于与外界源通信，在衬底中嵌入的导线和接口电路以便电连接柔性MEMS换能器和天线，电连接到衬底的柔性电池层、用于将电源提供到MEMS换能器，以及电连接到电池层的柔性蓝牙模块层。柔性MEMS换能器包括：柔性衬底，在衬底上沉积的薄膜层，在薄膜层上形成的下电极层，在下电极层上通过沉积压电聚合物形成的有源层，在有源层上形成的上电极层，以及分别电连接到下电极层和上电极层的第一和第二连接焊盘。

主权项

1.一种柔性微机电系统(MEMS)换能器，包括：由柔性材料组成的衬底；沉积在该衬底上的薄膜层，该薄膜层具有预定长度的凸起部分；通过在该薄膜层上沉积导电材料形成的下电极层；通过在该下电极层上沉积压电聚合物形成的有源层；通过在该有源层上沉积导电材料形成的上电极层；电连接到该下电极层的第一连接焊盘；以及电连接到该上电极层的第二连接焊盘。